پمپ وکیوم بخار روغن یا دیفیوژن جهت ارتقاء میزان خلاء از ناحیه بالا به فوق بالاست از برندهای معروف این پمپ Edward - Laybold - adixen اشاره کرد.
پمپ وکیوم دیفیوژن ساختار نچندان پیچیده ای دارد که شامل بدنه اصلی، نازلهای بخار روغن، پمپ روغن و بویلر می باشد. این پمپ را نمی توان در فشار اتمسفر استفاده کرد و در ورودی آن می بایست فشار وکیوم مناسبی با پمپهایی نظیر روتاری، روتس و دیگر پمپهای مکانیکی ایجاد نمود. فشار وکیوم اولیه بسته به مدل پمپ متفاوت است. این پمپ معمولا به فشار نهایی 10-6 میلی بار می رسد. روغن این پمپ مخصوص بوده و در دنیا تولید کننده های محدودی دارد. تعویض بموقغ روغن و میزان آن در کارکرد پمپ نقش بسزایی دارد.